1、中國(guó)科學(xué)院自動(dòng)化研究所凈化間改造項(xiàng)目

2、中科院物理所綜合條件實(shí)驗(yàn)裝置超凈環(huán)境設(shè)備項(xiàng)目

3、廣州迅準(zhǔn)科技芯片原子鐘試線超凈間項(xiàng)目